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CIGS薄膜太阳能电池工艺解决方案

CIGS薄膜太阳能电池工艺解决方案

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CIGS薄膜太阳能电池中试线磁控溅射镀膜设备

利用太阳能是能源发展的必然趋势,薄膜太阳能电池的发展潜力巨大。太阳能电池主要包括晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池,顾名思义薄膜太阳能电池通过薄膜制备而成,根据制作材料和工艺的不同,薄膜太阳能电池主要可以分为硅基薄膜太阳能电池、CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池、CdTe(碲化镉)薄膜太阳能电池等,由于CIGS薄膜太阳能技术在转换效率、生产成本及环保节能等方面具有诸多优势,被认为是最具发展前景的薄膜太阳能技术。

 

左图为我司CIGS薄膜太阳能电池中试线中ZnO层的溅射镀膜设备。

整个CIGS太阳能薄膜电池磁控溅射产线一共有5条生产线,分别是阻挡层+Mo层产线、CIGS层产线、ZnO层产线、AZO层产线和AR层产线。

整条产线基片为钠钙玻璃。采用直流磁控溅射法沉积Mo(钼)作为支持层,CIGS薄膜的生长则采用三步共蒸发PVD物理气相沉积技术,接着溅射双层的ZnO薄膜,再溅射一层AZO薄膜以便在其上制备Ni/Al电极以加强电池对电流的收集与传导能力,最后上面再覆盖一层增透AR膜。



国内首套实现全磁控方式制备CIGS薄膜太阳能电池片核心工艺的解决方案 
刚性基材上制备CIGS薄膜太阳能电池的整体解决方案


基材平面/刚性:钠钙玻璃
膜系:阻挡层+Mo、CIGS、i-ZnO、AZO、AR
应用:太阳能光伏组件

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